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其實超聲波檢測屬于機械振動波的一種。

基于能量的角度而言，局部放電的過程即為能量瞬時爆發的過程，電能通過聲能、光能、熱能以及電磁能的形式釋放出去，電氣擊穿發生在空氣間隙，瞬間就可以完成放電。

此時電能也會在一瞬間轉化為熱能，放電中心的氣體受到熱能的作用會發生膨脹，通過聲波向外傳播，傳播區域內氣體被加熱后形成一個等溫區，其溫度超出環境溫度。

等到這些氣體冷卻后開始收縮，則會產生后續波，后續波的頻率以及強度均比較低，包含各種頻率分量，有很寬的頻帶，超聲波的頻率大于20kHz。因為局部放電的區域相對較小，所以局放聲源即為點聲源。